화학공학실험 - 진공 상에서의 물질의 증착

화학공학실험 - 진공 상에서의 물질의 증착

Ⅰ 실험목표

진공 상에서의 물질의 증착을 이해하고, 압력에 따라 변화하는 챔버 안의 증발 분자량을 계산한다.

Ⅱ 실험 이론

① 압력 단위 환산
1atm 〓 101325Pa 〓 1.01325bar 〓 760mmHg(torr) 〓 14.696 psi

② 증착속도(/s)

deposition tickness
monitor device
옹스트롬 [angstrom] 으로, 빛의 파장, 원자 사이의 거리를 재는 데 사용하는 길이의 단위이며, 1Å 〓 0.0000000001m 〓 110^-10 m 를 나타낸다. 나노기술과 같은 분자 또는 원자 수준을 다룰때 자주 쓰이는 단위이다.
진공증착 실험에서는 시료가 증착되는 속도를 나타내며, 초당 아주 미세한 속도로 증착됨을 알 수 있다. deposition tickness monitor device를 이용해서 증착속도를 측정할 수 있다.

③ 시료: aluminum quinoline
줄여서 alq3 이라 불리우며 분자량은 459.44g/mol이다. OLED 제작에 쓰이는 형광물질이다.

Ⅲ 실험 과정

시료 및 장치 준비 과정(모든 세척과정에서는 반드시 일회용 비닐장갑을 낀다.)

1) 기판 준비

① ultrasonic에 기판을 10분간 돌리고 20분간 150℃로 Dry Oven에 말린다.
②…(생략)