1. ½ÇÇè¸ñÀû
- Pumping SystemÀÇ ÀÛµ¿ ¿ø¸®¸¦ ¾Ë¾Æ º»´Ù.
2. ½ÇÇè Àåºñ ¸ð½À
°£´ÜÇÏ°Ô ²Ù¹Î pumping system
ÀúÁø°øÆßÇÁ(·ÎÅ͸® ÆßÇÁ) °íÁø°øÆßÇÁ(Åͺ¸ÆßÇÁ)
3. ÀÛµ¿ ¿ø¸®
½ÇÇè½Ç¿¡¼ »ç¿ëÇÏ´Â °íÁø°ø ÆßÇÁÀÇ Á¾·ù¿¡´Â Turbo Pump, Cryo Pump, Diffusion Pump 3°¡Áö°¡ ÀÖ´Ù.
Pumping System¿¡¼ ±âº» ÀûÀ¸·Î ÇÊ¿äÇÑ ÀåºñµéÀº ÀúÁø°øPump¿Í °íÁø°øPump ±×¸®°í 4°³ÀÇ º§ºê´ÜÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. Pumping System±×¸²¿¡ º¸ÀÌ´Â 4°³ÀÇ º§ºê´Â ¸ðµÎ ¼öµ¿ÀÌ´Ù.
·ÎÅ͸® Pump¸¦ ÀÛµ¿½ÃÅ°¸é Áø°øµµ°¡ ¶³¾îÁö°Ô µÈ´Ù.
Áø°øµµ°¡ ¶³¾îÁö°í ÀÖ´Â ¸ð½À(¾Æ·¡ À§·Î ÀúÁø°ø °ÔÀÌÁö µÎ °³°¡ Ç¥½ÃµÈ´Ù.)
°ÔÀÌÁö
- ±×¸²¿¡¼ ÀÂÊ¿¡ Ç¥½ÃµÈ ÀúÁø°ø °ÔÀÌÁö : ÄÄÆÑÆ®·± °ÔÀÌÁö1 (PumpÁø°øÀÌ ¾ó¸¶³ª ºüÁö³ª¸¦ ÃøÁ¤ÇÏ´Â °ÔÀÌÁö)
- ±×¸²¿¡¼ ¾Æ·¡ÂÊ¿¡ Ç¥½ÃµÈ ÀúÁø°ø °ÔÀÌÁö : ÄÄÆÑÆ®·± °ÔÀÌÁö2 (ChamberÁø°øÀ» È®ÀÎÇÏ´Â)
ÀÌ °ÔÀÌÁö´Â ·¯Çιëºê¸¦ Áö³ ÈÄ ¿¬°áµÇ¾î ÀÖ´Ù. Pump¿Í Chamber µÎ °÷ÀÇ Áø°øÀ» ¸ðµÎ È®ÀÎ ÇØ¾ß ÇÑ´Ù.
·ÎÅ͸® ÆßÇÁ¸¦ ÀÛµ¿½Ãų ¶§ ¼¼ °³ÀÇ ¹ëºê´Â ¸ð¡¦(»ý·«)
1) PumpÀÇ ÀÛµ¿
2) ÆßÇÁ¸¦ ²ø ¶§
|