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자료설명

1. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역 , 2. 진공펌프의 종류 , 3. 진공펌프의 원리, ① 로타리 베인 펌프 , ② 로타리 피스톤 펌프 , ③ 로타리 기어펌프 , ④ 피스톤 펌프 , ⑤ 다이아 후렘 펌프 , ⑥ 루츠 펌프 , ⑦ 수봉식 펌프 , ⑧ 터보 분자 펌프 , ⑨ 확산펌프 , ⑩ 이젝타 펌프 , ⑪ 흡착펌프 , ⑬ 게터펌프 , ⑭ 승화펌프 , ⑮ 저온냉각펌프 , FileSize : 20K

목차/차례

1. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역 „. 진공펌프의 종류 …. 진공펌프의 원리 ① 로타리 베인 펌프 ② 로타리 피스톤 펌프 ③ 로타리 기어펌프 ④ 피스톤 펌프 ⑤ 다이아 후렘 펌프 ⑥ 루츠 펌프 ⑦ 수봉식 펌프 ⑧ 터보 분자 펌프 ⑨ 확산펌프 ⑩ 이젝타 펌프 ⑪ 흡착펌프 ⑬ 게터펌프 ⑭ 승화펌프 ⑮ 저온냉각펌프

본문/내용

11. 진공도에 따른 진공 영역의 구분 및 사용영역 진공영역은 진공도에 따라 아래의 표와 같이 몇 가지로 구분되어 불리어지고 있다. 진공영역을 이 같이 구분하는 이유는 각 진공 영역에 따라 적용되는 공정이 달라지고, 펌프의 기종 또한 다르게 되기 때문이다.„. 진공펌프의 종류 각기 다른 진공 영역에 따라 진공을 발생시키는 진공펌프의 종류가 다르게 된다는 것은 위에서 나타난 바와 같다. 진공펌프의 종류를 좀더 상세히 도식적으로 구분해 보면 다음과 같다. - 건식 로타리 베인 펌프 (DRY-RUNNING ROTARY VANE PUMP) - 만유식 로타리 베인 펌프 (OIL FLOODED ROTARY VANE PUMP) - 순환 급유식 로타리베인 펌프 (OIL CIRCULATED INJECRED ROTARY VANE PUMP) - 배출 급유식 로타리 베인 펌프 (ONCE -THROUGH OIL INJECTED ROTARY VANE PUMP)

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