자동화의핵심‘센서’

기기분야에서 급격한 수요증가가 예상되며 주로 반도체압력센서가 적용될 예정이어서 이 분야의 기술확보가 시급할 것으로 판단된다. 또한 공정제어, 화학플랜트 및 반도체산업에 적용되고 있는 압력센서는 감지방식에 관계없이 거의 전량을 수입에 의존하고 있어 국산품에 대한 의식개조와 홍보가 무엇보다도 중요하다.
▲압력센서기술 동향

가. 선진국 기술동향

선진국의 기술개발동향은 기계식이나 전자식보다 소형, 저가, 고신뢰성, 고감도를 가진 반도체압력센서에 비중을 두고 있다. 특히 마이크로머시닝기술을 이용하여 1개의 칩내에 복수의 압력센서를 집적한 멀티화, 서로다른 기능의 센서를 집적한 다기능화. 일렉트로닉스를 집적한 인텔리전트화 압력센서개발이 진행되고 있다. 미국의 Nova Sensor사는 SFB(Silicon Fusion Bonding)기술을 이용하여 의료용으로 쓰이는 실리콘압력센서를 개발하였다. 반도체 압력센서의 세계적인 메이커는 미국의 Nova Sensor, Honeywell, Motorola, GM, 네덜란드의 Philips등이다. 일본의 경우는 산업용 기계장치나 반도체제조장비 등에 사용되는 압력센서의 수요가 눈에 띄게 늘고 있으며, 코팔전자, 나가…(생략)

나. 국내기술 동향