전자 현미경의 원리 응용 종류에 관한 REPORT

아래 그림 왼쪽에서와 같이 세포나 조직의 내부구조를 관찰하기 위하여 시료를 앏게 잘라서 만든 단면을 전자로 투과한 후 형광판에 상을 만드는 것이 TEM(투과전자 현미경)이고, 오른쪽 그림과 같이 시료의 겉 표면 또는 부러뜨린 내부구조를 입체적으로 관찰하기 위하여 시료표면에 전자를 주사하여 얻어진 상을 CRT(음극선관)에 영상화 시킨 것이 SEM(주사전자현미경)이다.

2. 전자 현미경의 원리

① SEM (Scanning Electron Microscope)

주사전자 현미경(SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 50A정도의 해상력을 지닌 것이 상품화되어 있고, 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 10A이하의 해상력을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인
영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 이 SEM은 전자가 표본을 통과하는 것이 아니라 표본의 한 점에 집중되면 일차전자만 굴절되고 표면에서 발생된 이차 전자는 검파기(detector)에 의해 수집된다. 그 결과 생긴 신호들이 여러 점으로부터 모여들어 음극선관(CRT)에 상을 형…(생략)