실험결과 LED, 오실로스코프

D. 에피택셜 플레이너 트랜지스터
epitaxial planer transistor의 에피택셜은 ‘축 방향을 갖추어‘라는 뜻으로 규칙적으로 바르게 결정축을 갖추어 새롭게 만들어 붙이는 기술을 말한다.
앞에서 설명했던 플레이너 트랜지스터가 개량된 형태로, 반도체 단결정의 구조를 에피택셜 기술에 의해서 섬세하게 만들어지고 있는데, 현재의 트랜지스터는 거의 대부분 이 형태로 되어 있다.
・에피택셜 기술에는 기상 에피택셜 성장(VPE)방식을 비롯, 액상 애피택셜 성장(LPE)방식, 분자선 에피택셜 성장(MBE) 방식 등의 방법이 있지만, 어느 것이나 반도체 결정의 결정 축에 따라서 새로운 결정 층을 성장시켜 그 불순물 농도를 바꾼다든지, 다른 종류의 결정을 성장시킨다든지(이 형식은 hetero 구조라고 한다.) 할 수도 있다.
그림은 그 중 하나인「기상 애피택셜 성장 방식(VPE=Vapor Phase Epitaxy)」장치의 예인데, 기판을 되는 N형의 실리콘(Si) 단결정 웨이퍼를 고주파 가열로 1250℃로 가열한다.
이 용기 속에 사염화규소(SiCl4)를 환원성 가스의 수소(H2)와 섞어서 흘려 보내고, 동시에 P형 불순물용의 붕소(B)를 가지는 디보란(B…(생략)