전자총[전자총에서의 전자생성과 전자가 시료에 도달하기까지]

사되어 집속렌즈에 들어가는 전자선이 어긋나게 된다. 이는 렌즈의 수차발생의 원인이 되며 분해능을 떨어뜨리게 된다. 이때 전자총의 음극 바로 밑에서 전극 코일을 통해 X-Y축 방향으로 적당량을 편향하여 집속렌즈의 축에 일치시킨다.


(a) 600㎛
(a) 200㎛
(a) 100㎛
대물렌즈 조리개의 조정에 따른 이미지 변화
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비점수차 보정 코일(Stigmator)
컬럼의 오염이나 전자기장 또는 광학계의 미세한 결함에 의해 spot의 형태가 왜곡될 수 있으며, 그 결과 초점이 맞지 않게 되어 해상도를 떨어뜨리게 된다. 이를 보정하는 코일을 비점수차 보정 코일(stigmater)이라 하며, 전류를 적절하게 조절하여 보완하는 방법이다
주사 코일
주사 코일은 집속렌즈와 대물렌즈 사이에 위치하여 전자빔을 대물렌즈
중심의 한 점에 편향시키는 역할을 한다.

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진공계
전자 현미경에서는 10-5 torr 이상의 고진공이 사용하므로 대체로 유회전 펌프(rotary vacuum pump)와 유확산 펌프(oil diffusion pump)를 직렬연결 사용한다. 유확산 펌프는 저렴하고 진 동이 거의 없으며 유지보수가 쉽기 때문에 널리 이용되고 있으나 오일을 높은 온도로 가열하기 때문에 냉각수를 필요하고, 오일 증기의 역유입(back streaming) 현상으로 경통 내부를 오염 시킬 우려가 있기 때문에 개폐밸브의 자동 차단기능이 필수적으로 요구된다. 유확산 펌프는 최 고 10-8 torr 정도의 진공을 유지할 수 있으므로 유확산 펌프 진공계는 주사현미경에서 가장 많 이 채택되고 있다

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전자현미경에서 내부를 진공으로 만드는 이유는?

전자는 질량을 가진 입자이므로 운동 방향에 다른 입자가 있으면 충돌한다. 전자 현미경의 경우 전자가 나오는 필라멘트에서 시료까지의 거리는 약 1미터다. 전자가 공기 분자와 충돌하지 않고 1미터를 날아가게 하려면 전자 현미경 안의 공기를 빼서 진공으로 만들어야

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