정밀절삭가공의 이론과 실제(MEMS)

최근 센서 및 센서기술의 수요는 산업 전 분야에 걸쳐 더더욱 높아지고 있다. 이러한 센서기술은 현재 반도체 기술 등 첨단기술과 긴밀하게 연계되어 소형. 경량화 및 고성능화 센서의 요구도가 높아지고 있어 종래에 사용되어 오던 각종 센서들의 형태가 성능을 개선하기 위한 개발 연구가 매우 활발하게 전개되고 있다. 센서기술의 수요는 광범위한 분야에 걸쳐 날로 높아지고 있으면서 고성능화를 요구하고 있는 것이다. 현재 여러 분야에서 그렇겠지만 최근 크게 부각되고 있는 환경문제와 연관된 환경측정용 센서와 산업성이 높은 의료용 센서 등이 제품 개발 면에서 매우 중요시되고 있다. 여기서 급격히 부각된 MEMS(Micro Electro Mechanical System)분야는 초소형 구조물, 센서, 액추에이터 등 미소 소자를 제작하고 이를 응용한 시스템을 제작하는 연구 분야 이며, 최근 국내외적으로 활발히 연구되고 있고 통신, 바이오등의 미래 산업의 핵심기술로서 자리매김해 가고 있다. 이제는 산업계의 전 분야에서도 활발한 MEMS 분야가 적용된 새로운 기술들이 선보일 것이다. 국내에서도 크게 발달될 MEMS 분야를 응용한 분석용 센서를 알아보자.